第278章 浸没式光刻机（1/1）

光刻技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂（又名光刻胶）将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。

最早的光刻技术出现于1822年，起初是法国人Joseph Nicephore niepce（涅普斯）试图复制一种刻蚀在油纸上的印痕。他先将油纸放在一块玻璃片上，在上面涂满了一种在植物油中溶解的沥青，经过一段时间的暴晒之后，透光部分的沥青就会变得很硬，但是在不透光的部分可以用松香和植物油将其洗掉。

这项发明出现的很早，将其使用于制造印刷电路板却已经是100多年后的故事了。

也就是二十世纪末。

随着发展，光刻机需要的光源波长，一降再降。

从二十世纪90年代开始，光刻机竞争的主战场成为了光源波长的竞争。

光源波长从365nm降低到了193nm，对应的制程也从800~250nm减小到130~65nm。

随着摩尔定律的推进，下一个节点157nm波长的光源却一直没做出来。

到了2002年7月，才有台积电的林姓博士在布鲁塞尔举办的157nm微影技术研讨会上提出了“浸润原理”的专题演讲。

在传统的光刻技术中，镜头与光刻胶之间的介质是空气，林本坚提出的这种方法就是在光刻胶上方加一层水，利用光通过液体介质后波长缩短来提高分辨率，这个方法后来被称为“浸没式光刻”，采用这种方法能够在不改变光刻机波长的情况下做出等效134nm的波长。

唐缺要弄的，也就是这个浸没式光源。

最好，是能在阿斯麦之前，做出浸没式光刻机。

确定了方案之后，两家欢喜，十几家愁。

他们都知道，如果这两个实验室真的建起来，相关专业的教授，有福了。

论文不愁。

科研经费，估计也不愁了。

唐缺单独了留下了那个光学相关的教授。

黄权坚。

“你对光刻机的光源知道多少？说一说。”

黄权坚推了推眼镜，简单说了说，基本就是上面的那些情况，唐缺都了解。

黄权坚又道：“现在是波长193nm的光源，按照定律，下一个是157nm的波长光源。听说尼康现在正在研究，你打算让我研究这个吗？”

他有些兴奋，如果唐缺真的舍得出钱，那他也能真的研究。

这在方面，他还是有一定自信的。

关键是，试验设备要好。

唐缺摇了摇头：“不。”

在传统的光刻技术中，镜头与光刻胶之间的介质是空气，台积电林姓教授提出的方法就是在光刻胶上方加一层水，利用光通过液体介质后波长缩短来提高分辨率。

这个方法后来被称为“浸没式光刻”，采用这种方法，能够在不改变光刻机波长的情况下，利用193nm的波长做出等效134nm的波长，直接越过157nm波长。

更高效。

只是，想法很简单。

但要解决的技术问题是，光刻胶上方的这一层水，不能污染光刻胶，也不能污染芯片。

黄权坚有些不解：“不研究157nm，研究193nm以上的话，可算不上最先进。”

唐缺笑着道：“教授，你听说过浸没式吗？”

唐缺简单讲了讲原理。

黄权坚看着唐缺，眼神里是无比的惊奇，唐缺竟然懂，而且是很懂。

根本不像是一个文学系的学生。

他听了唐缺的方案，神色激动：“妙啊。只用现在最先进193nm光源设备改进，相比于157nm，能降低不少的成本，可行。”

唐缺道：“你准备演讲稿，七月份参加布鲁塞尔微影技术研讨会上演讲。”

黄权坚觉得弄不到这个资格：“那都是相关的大厂，或者顶级的教授才能做演讲吧。”

唐缺一笑：“你只管演讲稿，剩下的我来搞定。”

他已经有了一个大概的方案。

能让黄权坚上台演讲。

然后，代替台积电，拿到和阿斯麦合作的权利，最差，也要和台积电，阿斯麦，三家合作。

这样，光刻机的限制，也就不攻自破了，以后不会被卡脖子。

而且，浸没式的方案，只是暂时的，领先不了多少年。

深紫外线，duv，终究不如极紫外线，也就是euv。

等拿到和阿斯麦的合作协议之后，下一步就是自研euv光刻机。

当然，这需要一个过程。

不能太慢。

但也急不得。

“我这就去做方案。”黄权坚双眼发亮动力满满，这就要投入工作。

“去吧。”

黄权坚做技术，而唐缺，则是想着怎么外联。

他记得，那个林姓教授，有了浸没式的方案之后，尽力游说好几个半导体巨头，都没有什么撑过，被拒绝了。

如果自己现在提出合作，估计并不难。

“等黄教授做出方案，立刻联系那个林姓教授。”唐缺暗暗盘算。

他相信，现在林姓教授，也在做着浸没式的方案，不过秘而不宣而已。

只要自己提前一步拿出来，肯定能镇住他。

光学定理就在那里，其实能想出来这一点，利用水折射的，肯定不在少数。

只不过怎么形成方案，又怎么往下走，很多人就不会往下思考。

只是略微想一想，水对光刻胶，对晶圆有污染，觉得不可能利用浸没式做芯片，就停止了。

先是敢想，然后有问题，解决问题，才是正确的处理方式。

连想都不敢想，还做个屁啊。

就像浸没式，略微一想，觉得不可能，再想一想，解决了晶圆可能被污染问题，不就成了吗？

——

唐缺没想到阮市长的出招，竟然那么快。

这边黄权坚的方案才刚刚开始做，那边阮市长就发难了。

不是关于大学城。

而是从游戏入手。

阮市长依然假大空，冠冕堂皇。

“我们不要只关注利益，也要关注游戏给我们带来的负面作用。像《传奇》这样的游戏，给我们带来了巨额的税收，这未必是好事。”

在阮市长的主持下，文化相关部门开始严查游戏，特别是唐缺的《传奇》。

可惜，宋刚已经调到了旅游局，不在文化部门了，帮不上忙。

唐缺也怒了：“这哥们真是不想好啊。”