第66章 合纵连横（1/1）

说起来光刻机那可是大有来头，被誉为半导体工业皇冠上的明珠，由此可见光刻机对于半导体行业的重要性。

后世华夏企业之所以被卡脖子这么严重，很大程度上就是由于ASML集团的光刻机被限制出口到华夏，所以才导致空有技术，但是生产不出来的困境。

当前世界上一共有两种主流的光刻机，一种是DUV光刻机一种是EUV光刻机，在90年代后期到21世纪初，光刻机一直以岛国为龙头企业，集齐了尼康和佳能两大光学巨头，一时间风头无两。

但是随着三星、台积电和现代将宝压在ASML身上，这个来自荷兰的厂商开启了自己一步绝尘之路，以狂傲的姿态开启了自己在光刻机领域称王称霸的道路，直接把日系光刻机压的半死不活。

先从DUV光刻机讲起，DUV光刻技术最早是由日本和荷兰独立完成，2002年DUV技术在干法ArF后期演化成2条主要进化方向：其一是用157nm的F2的准分子光源取代193nm的ArF光源。该方法较浸没式ArF更为保守，代表厂商是尼康和佳能。其二，采用台积电林本坚的方案，依然使用193nm的ArF光源，但是将镜头和光刻胶之间的介质由空气改成液体。

可以说这两种方法各有优劣，但是由于ASML抢先在2003年就研制出来了第一台浸没式光刻机，而尼康直到2006年才研制出来，所以三年的时间让ASML成为了光刻机领域当之无愧的龙头企业。

有了arf工艺的DUV光刻机理论上能做到7nm但是基本上只能做到25nm再往下就得付出多倍的精力。

因此要想得7nm及以下的芯片制程就必须有，EUV光刻机来做支撑，而EUV光刻机的技术99.9999%都掌握在美利坚手里。

1997年EUV LLC联盟成立，ASML成功入局。EUV技术起源于英特尔和美国政府牵头成立EUV LLC联盟。

该联盟汇聚了美国顶尖的研究资源和芯片巨头，包括劳伦斯利弗莫尔实验室、劳伦斯伯克利实验室、桑迪亚国家实验室三大国家实验室，联合IBM、AMD、摩托罗拉等科技巨头，集中数百位顶尖科学家，共同研究EUV光刻技术。

美国政府担心尖端技术落入外国公司，所以反对尼康的加入，而ASML做出在美国建立工厂和研发基地等多项让步后才成功加入EUV联盟。随后，ASML在2007年收购美国Brion，获取了光刻技术后，成功开启并购美国光刻企业之路。至此，美国开始在EUV技术方面渗入ASML。

最后EUV光刻机的技术全都掌握在美利坚人的手里，连ASML都已经成为美利坚的附庸。

话说到这关于光刻机的历史就已经全部都赘述完了，而陈衍的下一步计划也已经呼之欲出了。

自从忙完陈衍收购中芯国际股份后，张汝京虽然也比较关注台积电和中芯国际在美国的案子，但是企业还得正常运行，所以在陈衍的鼓动下，既然已经和台积电准备鱼死网破了，那也没有必要再待在一条船上了，你台积电有ASML，我中芯国际也可以有自己的光刻机制造厂商，你们看不上岛国的企业，我中芯国际不挑挑拣拣，先跟岛国企业合作一手。

张汝京已经通过关系找到了尼康，目的自然是不用多说，纯粹是出于人道主义，为了帮助尼康更早的生产出来DUV光刻机，毕竟台积电有林本坚是不差，但是我中芯国际也并非没有人才。

好在尼康现在也是一肚子气没地方洒，毕竟自己原先可是光刻机领域的头部企业，现在快要被ASML给打入尘埃了，这放在谁身上，谁也受不了，尼康现在是摩拳擦掌准备在DUV领域再次抢夺话语权。

而中芯国际的到来可谓是给尼康添了最后一把火，毕竟张汝京的大名在半导体界也是有头有脸的人物。虽然尼康对于中芯国际在研发上能帮多少忙不太确定，但是该有的礼仪肯定是有的。

为了能够成功的和尼康达成合作，陈衍和张汝京还特地飞了一趟东京，虽然全程都是张汝京在阐述中芯国际能够带给尼康什么，但是陈衍说了一句至关重要的话。

“虽然我们现在在讨论的是DUV光刻机的工艺制造技术。但是现在美利坚已经将你们以及我们都排除在了EUV光刻机的制造路上，如果我们不齐心协力一步步的迎着困难往上冲，那么无论是DUV还是EUV我们都捞不到一点好处，一步错步步错。”

正是陈衍这一句看似假大空的话，让尼康最终下定决心和中芯国际合作，一起研发DUV光刻机，两家分别出资50%成立一个新的半导体公司，资源共享、合理分配，争取早日制造出来DUV光刻机。

其实陈衍是有私心的，没有中芯国际的帮助，尼康也可以顺利的造出基于arf工艺的DUV光刻机，有了中芯国际的帮助也仅仅能够缩短个一年半载的时间。

最主要的是中芯国际能够掌握生产光刻机的技术，这对于整个华夏半导体行业来说都是一个利好的消息。

毕竟在陈衍的带动下以及台积电的逼迫下，现在的中芯国际也开始信奉求人不如求己的策略，能够自己研发出来的技术，尽量自己研发，这样才不会处处受制于人。

很明显中芯国际和尼康虽然是秘密合作，但是在有心人眼里已经变成了公开挑衅，例如张忠谋老爷子看到张汝京现在这么硬气，不由得一阵苦笑。

虽然明知道中芯国际在短时间内还赶不上台积电，但是张忠谋也从没小瞧任何人，毕竟自己也是一步步从小到大的，只要敢于去拼就会成功。

至于中芯国际和尼康的合作也在国内引起来了轩然大波，众人没想到台积电的动作这么快，于是纷纷的加入到了由台积电和尼康联合创立的DUV光刻机研发联盟，虽然现在还是草台班子，但是不久的将来就会绽放出不一样的烟火。